Silicon- EPI-Wafer -5”(五吋-外延片)-Sumitomo
|
NAME |
Diameter (mm) |
Method |
Orient |
Dopant |
Type |
SUB RES (Ohm) |
SUB THICK (μm) |
Epi RES (Ohm) |
Epi THICK (μm) |
Epi |
Q'ty |
||||||
|
Sumitomo Sit Sillicon.INC |
125 |
CZ |
100 |
AS |
PH3 |
N |
N |
0.001-0.005 |
605-645 |
0.198-0.242 |
5.00-6.00 |
○ |
966 |
||||
|
125 |
CZ |
100 |
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